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石英坩埚中的杂质

杂质的扩散

沉渣的形成对单晶体硅性能和机器设备率定义马上的作用,往往与硅熔体马上接处的熔融石英砂晶体石砂晶体坩埚的沉渣含碳量至关最重要,坩埚运用辅料高纯熔融石英砂晶体石砂晶体砂是熔融石英砂晶体石砂晶体坩埚溶解度的理论知识。高温环境下,与众与众不一样的沉渣是由于其物理上的性能与众与众不一样的而在熔融石英砂晶体石砂晶体坩埚中的发展快和慢与众与众不一样的,但沉渣发展的状况原因分析高品行熔融石英砂晶体石砂晶体砂的安全使用是单晶体硅品行质量保障的根本。考生下列沉渣在熔融石英砂晶体石砂晶体中的发展表:

杂质与坩埚强度

坩埚所有熔融石英晶体砂砂的钙镁离子含氧量也绝对了坩埚的硬度,钙镁离子含氧量高的熔融石英晶体砂坩埚高温环境硬度低,易易变型,马上对单晶硅拉制搭建作用,像是坩埚上口内塌导致的与扰流板筒激发的而传导健康拉晶。分类一些有所差异饱和度的熔融石英晶体砂的硬度与平均温度的关联图:

杂质与析晶

伴随用于四挡次熔融熔融石英砂和在加工生产工艺中的环保问题而引发的坩埚中的不溶物分子量过高,必然会引发熔融熔融石英坩埚在本身上的析晶,这样析晶很近内表面层,则伴随位置的析晶壳层过厚而最易掉落使多晶硅拉制不可一直。这样析晶有内壁较硬的析晶,这一的情况必然伴随着时间的推移坩埚内壁在析晶下一步已是无限软化贴紧石墨坩埚,而最易促使在顶端和弯度的鼓包的情况。这样这一析晶有机会贯彻坩埚本身说说,就要促使漏硅等一产品厉害坏处。参看图一为:
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